CNC精密零配件加工的特點(diǎn)

     超精密零配件加工方法的特點(diǎn)是對外表層物質(zhì)去除或添加的量能夠作極細(xì)微的控制。但是要獲得cnc超精密零件加工精度，仍有賴于精密的加工設(shè)備和準(zhǔn)確的克制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版即使采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版必要采用工作臺定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

    超精密零配件加工，主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用通過精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，高精度可達(dá)0.1微米，外表粗糙度為Rz0.05微米。